**代:银离子净化技术
简单地说就是把银块离子化吹到空气中以起到杀菌的效果缺点产品成本高,细菌杀灭率低,对病毒几乎没有杀灭特性。产品代表:早期的松下空气净化器。
第二代:离子技术
主要原理是运用静电释放负离子,吸附集中空气中的粉尘起到降尘作用,同时负离子对空气中的氧气也有电离成臭氧的作用,对细菌有一定的杀灭作用,这类产品优点是产品生产成本较低。
第三代:温等离子技术
主要原理是,通过给气体外加电压至气体的放电电压,使气体被击穿,产生各种强氧化性的低温等离子,并在极短时间内把接触。
三、空气净化工程的应用
空气净化工程在提高产品质量等方面有很明显的效果,据文献的报导,对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过*压试验,在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散,100级洁净室中产品的性能分布集中,而且峰值出现在更性能好的地方。
但是,和对待任何事物不能**化一样,对待空气洁净技术的作用也不能**化,不能把提高产品质量的作用**归之于它。据材料分析,例如对于半导体元件部门,空气洁净技术在提高产品质量方面的作用大约在整个生产中占的比重为20%,而生产工艺自动化作用的比重占60%,其他因素占20%。当然,在已经解决了生产工艺的问题以后,空气净化就是主要矛盾,例如超大规模集成电路,没有洁净的环境,则几乎是生产不出来的。
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