沈阳无尘净化工程沈阳无尘净化装修沈阳无尘室并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
污染敏感零件不可能。在FED-STD-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒**。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
如表所示,每立方米将小于0.5微米粒径的数量控制在3500个以下,就达到了**无尘标准的**。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于**,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K**。
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的*久材料。而*久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝,基于它的*久性,,它不是便宜的物质。
对C/R而言,其选择地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆盖着一层乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆盖会引起尘埃,而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂,但并不是所有C/R的地板,都会覆盖,乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式,而全面层流都是冲孔式。
乙烯基有一作用即脱氧,但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果,而无尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵,但铝却可以保护墙面不被空气所氧化,可是却易受酸性气体的侵蚀,而避免的方法是使用电镀,便铝表面增厚,不易氧化,再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。
对于工业而言,无尘室是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对口板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破裂了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
另外,C/R**怕的就是粒子泄漏。口板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的口板优点为,放置方式并没有严格的限制。
C/R之墙壁还有一种是以薄钢制成,但应该在表层涂上一层保护层,否则亦会腐蚀,它并不容易电镀,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很容易剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的C/R会使得房间的光线大增,以及美观,但应该涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭恐惧症。
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