无尘室设备：如何进行微粒子浓度控制

无尘室有很多设备以维持室内的洁净。其中包含FFU、空气除湿机、温湿度计、交换仓、稀奇到关于集尘器、静电风扇等设备。我们对无尘室微粒子浓度进行控制，要通过人、机、料进无尘室不携入微粒子；无尘室内动态环境下机、料的不发生控制等方面来把控。下文是关于无尘室的设备，以及如何把控微粒子浓度。

1、FFU可模块化连接使用，使得FFU广应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。FFU设有初、两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面0.45M/S±20%的风速匀速送出。

2、它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度**，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。

2、自动化与无尘化

（1）设立自动化传送系统，可减少职员方面所带来的污染，唯用度相当昂贵，须详加评估。

（2）建立管制项目如进进无尘室职员的资格限定，无尘室作业职员作业规则，无尘室治理规则等。

3、空气除湿机

除湿机又称为抽湿机，一般可分为家用除湿机和工业除湿机两大类，属于制冷空调家庭中的一个小成员。通常，除湿机由压缩机、热交换器、风扇、盛水器、机壳及控制器组成，其工作原理是:由风扇将潮湿空=气抽入机内，通过热交换器，此时空气中的水份冷凝成水珠，变成干燥的空气排出机外，如此循环使室内湿度降低。

4、温湿度计

用来测定环境的温度及湿度，以确定产品生产或仓储的环境条件。也应用于人们日常生活。应用较为广。当空气中有很多水气时，我们说空气是潮湿的。

5、交换仓

室内物品与室外物品交换放置的地方，它里面有恒定的气流，可以清除放入部品表面的灰尘异物。

6、吸气导管与集尘器

主要用于吸取生产过程中产生的灰尘异物，收集并保存异物，方便分析异物成分，有效的去控制无尘室内异物的进入渠道。

7、静电风扇

通过静电风扇可以吹干净长时间放置的部品表面上的灰尘异物。

8、隐形胶带

可以粘取部品表面的异物并且不会留下任何粘合剂。

9、*特殊橡皮泥.

在生产中用螺丝刀打螺丝，螺丝刀头上会产生铁屑，粘取在橡皮泥上就可以有效的使螺丝刀头上保持清洁。

1、不携入:人、机、料进无尘室不携入微粒子

(1)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等，再通过风淋室吹淋，高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完毕才能进入无尘室。

(2)机器、材料进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经货淋室吹淋或风淋传递窗吹淋后才能进入无尘室。

(3)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有空气过滤器的排气用小型过滤单元于腰间。

2、不发生:无尘室内动态环境下机、料的不发生控制

在控制**大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到**小限度应采取以下对策：

(1)减少接触剥离发尘的动作形态;

(2)采用磨耗发尘小的材质;

(3)采用发尘小的润滑油;

3、不储备

（1）现实中人和物品的频繁出入及机台的掣动(动态)，无尘室要想达到动态洁净**，因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

（2）控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。

4、排除/除去

（1）在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。

（2）由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是**理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。

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