风淋室在缓存部的功效有两种,一个是避免非洁净区的气体直接进洁净室,有了一个缓存室就能够降低这种可能。二个是人员或原材料自非洁净区进到洁净室时,在缓存室有一个“闲置”开展自净作用(通常是原材料),以防进到洁净室后,对洁净室造成二次污染。
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